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Feuilleter Ajouter à ma liste d'envies Ion Implantation and Synthesis of Materials James W. Mayer , Michael Nastasi Ion implantation is one of the key processing steps in silicon integrated circuit technology. Some integrated circuits require up to 17 implantation steps and circuits are seldom processed with less than 10 implantation steps. Controlled doping at controlled depths is... Parution : 2007-05-16 Format(s) : PDF Éditeur : Springer J'achète 94,49 €

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Ion Implantation and Synthesis of Materials

James W. Mayer , Michael Nastasi

Ion implantation is one of the key processing steps in silicon integrated circuit technology. Some integrated circuits require up to 17 implantation steps and circuits are seldom processed with less than 10 implantation steps. Controlled doping at controlled depths is...

Parution : 2007-05-16

Format(s) : PDF

Éditeur : Springer

J'achète

94,49 €

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