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Mikrosystemtechnik für Ingenieure


Wolfgang Menz , Oliver Paul


Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiften Lehrbuchs trägt den rasanten Entwicklungen in diesem interdisziplinären Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere die Kapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologien wurden stark erweitert....

Parution : 2012-05-07
Format(s) : PDF, ePub
Éditeur : Wiley-VCH
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