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Ajouter à ma liste d'envies Principles of Plasma Discharges and Materials Processing Allan J. Lichtenberg , Michael A. Lieberman A new edition of this industry classic on the principles of plasma processing Plasma-based technology and materials processes have been central to the revolution of the last half-century in micro- and nano-electronics. From anisotropic plasma etching on microprocessors,... Parution : 2024-08-28 Format(s) : PDF, ePub Éditeur : Wiley PDF ePub J'achète 125,49 €

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Principles of Plasma Discharges and Materials Processing

Allan J. Lichtenberg , Michael A. Lieberman

A new edition of this industry classic on the principles of plasma processing Plasma-based technology and materials processes have been central to the revolution of the last half-century in micro- and nano-electronics. From anisotropic plasma etching on microprocessors,...

Parution : 2024-08-28

Format(s) : PDF, ePub

Éditeur : Wiley

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125,49 €

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