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Science and Technology of Defects in Silicon


A. Chantre , C.A.J. Ammerlaan , P. Wagner


This volume reviews recent developments in the materials science of silicon. The topics discussed range from the fundamental characterization of the physical properties to the assessment of materials for device applications, and include: crystal growth; process-induced...

Parution : 2014-01-01
Format(s) : PDF sans DRM
Éditeur : North Holland
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