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Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors

Kristin De Meyer , Pilar Gonzalez Ruiz , Ann Witvrouw

Polycrystalline SiGe has emerged as a promising MEMS (Microelectromechanical Systems) structural material since it provides the desired mechanical properties at lower temperatures compared to poly-Si, allowing the direct post-processing on top of CMOS. This CMOS-MEMS...

Parution : 2013-07-17
Format(s) : ePub
Éditeur : Springer
Collection : Springer Series in Advanced Microelectronics
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95,39 €
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High Mobility and Quantum Well Transistors

Kristin De Meyer , Geert Hellings

For many decades, the semiconductor industry has miniaturized transistors, delivering increased computing power to consumers at decreased cost. However, mere transistor downsizing does no longer provide the same improvements. One interesting option to further improve...

Parution : 2013-03-25
Format(s) : ePub
Éditeur : Springer
Collection : Springer Series in Advanced Microelectronics
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