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Ajouter à ma liste d'envies Plasma Etching Daniel L. Flamm , Dennis M. Manos Plasma etching plays an essential role in microelectronic circuit manufacturing. Suitable for researchers, process engineers, and graduate students, this book introduces the basic physics and chemistry of electrical discharges and relates them to plasma etching... Parution : 1989-09-08 Format(s) : ePub Éditeur : Academic Press J'achète 57,97 €

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Plasma Etching

Daniel L. Flamm , Dennis M. Manos

Plasma etching plays an essential role in microelectronic circuit manufacturing. Suitable for researchers, process engineers, and graduate students, this book introduces the basic physics and chemistry of electrical discharges and relates them to plasma etching...

Parution : 1989-09-08

Format(s) : ePub

Éditeur : Academic Press

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57,97 €

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