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High Dielectric Constant Materials


David Gilmer , Howard Huff


Issues relating to the high-K gate dielectric are among the greatest challenges for the evolving International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS). More than just an historical overview, this book will assess previous and present approaches related to scaling...

Parution : 2005-11-02
Format(s) : PDF
Éditeur : Springer
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