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High Energy and High Dose Ion Implantation


J. Gyulai , J.A. Kilner , P.L.F. Hemment , S.U. Campisano


Ion beam processing is a means of producing both novel materials and structures. The contributions in this volume strongly focus on this aspect and include many papers reporting on the modification of the electrical and structural properties of the target materials,...

Parution : 1992-06-16
Format(s) : PDF sans DRM
Éditeur : North Holland
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