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Ajouter à ma liste d'envies Photoresist Technology in Microsystems: Principles, Processes and Applications Kaiying Wang This book presents a comprehensive overview of recent advances in photoresist technology, a cornerstone of modern microfabrication. Photoresists enable the precise patterning essential for creating microelectronic devices, MEMS, biomedical systems, and photonic... Parution : 2025-10-14 Format(s) : PDF, ePub Éditeur : Springer PDF ePub J'achète 168,79 €

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Photoresist Technology in Microsystems: Principles, Processes and Applications

Kaiying Wang

This book presents a comprehensive overview of recent advances in photoresist technology, a cornerstone of modern microfabrication. Photoresists enable the precise patterning essential for creating microelectronic devices, MEMS, biomedical systems, and photonic...

Parution : 2025-10-14

Format(s) : PDF, ePub

Éditeur : Springer

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