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Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces

Michel De Labachelerie

Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de...

Parution : 2004-05-12
Format(s) : PDF sans DRM
Éditeur : Hermés science
Collection : Traité EGEM
J'achète
110,78 €
Feuilleter Télécharger le livre : Techniques de fabrication des microsystèmes 2 : systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs
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Techniques de fabrication des microsystèmes 2 : systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs

Michel De Labachelerie

Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques " épaisses ", inhabituelles dans le domaine de la microélectronique. La photolithographie utilisant des...

Parution : 2004-05-12
Format(s) : PDF sans DRM
Éditeur : Hermés science
Collection : Traité EGEM
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