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Reliability of MEMS

Osamu Tabata , Toshiyuki Tsuchiya

This first book to cover exclusively and in detail the principles, tools and methods for determining the reliability of microelectromechanical materials, components and devices covers both component materials as well as entire MEMS devices. Divided into two major parts,...

Parution : 2013-03-26

Format(s) : PDF

Éditeur : Wiley-VCH

Collection : Advanced Micro and Nanosystems

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89,62 €

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