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MEMS Materials and Processes Handbook


Reza Ghodssi , Pinyen Lin


MEMs Materials and Processes Handbook" is a comprehensive reference for researchers searching for new materials, properties of known materials, or specific processes available for MEMS fabrication. The content is separated into distinct sections on "Materials" and...

Parution : 2011-03-18
Format(s) : ePub
Éditeur : Springer
Collection : MEMS Reference Shelf
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