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Ajouter à ma liste d'envies Dry Etching for Microelectronics R.A. Powell This volume collects together for the first time a series of in-depth, critical reviews of important topics in dry etching, such as dry processing of III-V compound semiconductors, dry etching of refractory metal silicides and dry etching aluminium and aluminium alloys.... Parution : 2012-12-02 Format(s) : PDF sans DRM Éditeur : North Holland J'achète 58,80 €

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Dry Etching for Microelectronics

R.A. Powell

This volume collects together for the first time a series of in-depth, critical reviews of important topics in dry etching, such as dry processing of III-V compound semiconductors, dry etching of refractory metal silicides and dry etching aluminium and aluminium alloys....

Parution : 2012-12-02

Format(s) : PDF sans DRM

Éditeur : North Holland

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