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Deep Implants: Fundamentals and Applications


A. Golanski , G.G. Bentini , S. Kalbitzer


Deep implants are produced by the high-energy implantation of impurities in a host material. The thus created subsurface layers have properties that are different from the very surface and the bulk and show great promise for application in the electronics industry.

Parution : 1989-01-01
Format(s) : PDF sans DRM
Éditeur : North Holland
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