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Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiften Lehrbuchs trägt den rasanten Entwicklungen in diesem interdisziplinären Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere die Kapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologien wurden stark erweitert....
This completely revised edition of a bestselling concise introduction to microsystems technology includes the latest trends in this emerging scientific discipline. The chapters on silicium and LIGA technology are greatly expanded, whilst new topics include application...
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