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Computational Lithography


Gonzalo R. Arce , Xu Ma


A Unified Summary of the Models and Optimization Methods Used in Computational Lithography Optical lithography is one of the most challenging areas of current integrated circuit manufacturing technology. The semiconductor industry is relying more on resolution...

Parution : 2011-01-06
Format(s) : PDF, ePub
Éditeur : Wiley
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